Kemajuan dalam teknologi proses dan pemahaman tentang mekanisme cacat dalam teknologi proses telah menghasilkan pengurangan cacat dan kemampuan untuk berhasil melapisi lapisan yang lebih tipis tanpa cacat. Selain itu, kemampuan pemantauan komputer proses yang canggih secara teknis dan berbiaya rendah telah dikembangkan, yang dapat memberikan data ekstensif yang dibutuhkan untuk mengatasi masala…